SiGeCのUHV-CVD成長と応用
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概要
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- 2000-10-20
著者
-
井上 彰
松下電器産業(株)先行デバイス開発センター
-
久保 実
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
大西 照人
松下電器産業(株)半導体研究センター
-
神澤 好彦
松下電器産業株式会社先端技術研究所
-
幸 康一郎
松下電器産業株式会社先端技術研究所
-
豊田 健治
松下電器産業株式会社先端技術研究所
-
浅井 明
松下電器産業株式会社先端技術研究所
-
高木 剛
松下電器産業株式会社先端技術研究所
-
能澤 克弥
松下電器産業(株)先端技術研究所半導体グループ
-
斎藤 徹
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
原 義博
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
神澤 好彦
松下電器産業(株) 先行デバイス開発センター
-
幸 康一郎
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
浅井 明
松下電器産業(株)先端技術研究所
-
浅井 明
同志社大学工学部電子工学科
-
久保 実
松下電器産業 先端技研
-
高木 剛
松下電器産業(株)先行デバイス開発センター
-
大西 照人
松下電器産業株式会社 先端技術研究所
-
原 義博
松下電器産業(株)通信デバイス開発センター
-
能澤 克弥
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
能澤 克弥
パナソニック先端技術研究所
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