新しいシリコン系混晶材料Si_<1-x-y>Ge_xC_yの成長
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概要
著者
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久保 実
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
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神澤 好彦
松下電器産業株式会社先端技術研究所
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能澤 克弥
松下電器産業(株)先端技術研究所半導体グループ
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齋藤 徹
松下電器産業(株)先端技術研究所半導体グループ
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神澤 好彦
松下電器産業(株) 先行デバイス開発センター
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久保 実
松下電器産業 先端技研
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能澤 克弥
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
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能澤 克弥
パナソニック先端技術研究所
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