多孔質層間絶縁膜材料の検討
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概要
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- 1997-06-05
著者
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久保 実
松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ
-
久保 実
松下電器産業(株)
-
青井 信雄
松下電器産業(株)
-
菅原 岳
松下電器産業(株)
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久保 実
松下電器産業 先端技研
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青井 信雄
松下電子工業(株)半導体事業本部プロセス開発センター
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菅原 岳
松下電器産業(株)中央研究所
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