青井 信雄 | 松下電器産業(株)

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• 青井 信雄

  松下電器産業(株)

• 菅原 岳

  松下電器産業(株)

• 青井 信雄

  松下電子工業(株)半導体事業本部プロセス開発センター

• 青井 信雄

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 菅原 岳

  松下電器産業(株)中央研究所

• 久保 実

  松下電器産業(株)先端技術研究所次世代半導体研究グループ

• 久保 実

  松下電器産業(株)

• 久保 実

  松下電器産業 先端技研

• 新井 康司

  松下電器産業(株)生産技術本部薄膜加工研究所

• 真弓 周一

  松下電子工業(株)半導体事業本部プロセス開発センター

• 沢田 和幸

  松下電器産業(株)生産技術本部薄膜加工研究所

• 青井 信雄

  松下電子工業(株)

• 沢田 和幸

  松下電器産業

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著作論文

• 多孔質層間絶縁膜材料の検討
• 層間絶縁膜として有機・無機ハイブリッドCVDの検討
• AlCu合金膜の腐食
• 液相シリル化による多孔質低誘電率層間絶縁膜材料

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