AlCu合金膜の腐食

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本金属学会の論文

著者

• 青井 信雄

  松下電器産業(株)

• 青井 信雄

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

関連論文

• 多孔質層間絶縁膜材料の検討
• 層間絶縁膜として有機・無機ハイブリッドCVDの検討
• AlCu合金膜の腐食
• 液相シリル化による多孔質低誘電率層間絶縁膜材料

スポンサーリンク