反応性イオンエッチングによるシリコン表面損傷の電流-電圧特性を用いた評価

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

著者

• 浅井 明

  松下電器産業(株)先端技術研究所

• 浅井 明

  同志社大学工学部電子工学科

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