芦田 極 | (独)産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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芦田 極
(独)産業技術総合研究所
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森田 昇
富山大学大学院理工学研究部
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森田 昇
千葉大学工学部
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森田 昇
富山大工
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森田 昇
富山大学工学部
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芦田 極
産業技術総合研究所
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芦田 極
産総研
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高野 登
富山大学工学部
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川堰 宣隆
富山県工業技術センター企画管理部
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高野 登
富山大学
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高野 登
富山大
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川堰 宣隆
富山大学大学院
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森田 昇
千葉大工
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田中 誠
日本大学理工学部
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山田 茂
富山大学工学部
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大山 達雄
富山大学工学部
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山田 茂
富山大学
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大山 達雄
富山大学
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三島 望
産業技術総合研究所
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三島 望
機械技研
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三島 望
機械技術研究所
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三島 望
機技研
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平井 聖児
ものつくり大学
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森田 昇
富山大学
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陳 利益
千葉大学大学院
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芦田 極
機械技研
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川堰 宣隆
富山県工業技術センター
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平井 聖児
都立高専
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森田 昇
富山大
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神田 一隆
(株)不二越 開発本部
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谷川 民生
産業技術総合研究所
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田中 誠
機械技研
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鈴木 庸介
千葉大学大学院
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鈴木 庸介
千葉大院
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宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
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谷口 淳
東京理科大学基礎工学部
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谷口 淳
東京理科大学
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陳 利益
千葉大院
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宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
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宮本 岩男
東京理科大学
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高野 登
富山大・工
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小幡 勤
富山県工技セ 中研
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宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
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前川 仁
産業技術総合研究所
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神田 一隆
不二越(株)
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森田 昇
千葉大
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小幡 勤
富山工技セ
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谷口 淳
東京理大 基礎工
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柴田 浩一
千葉大学大学院自然科学研究科
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深瀬 達也
富山大学大学院理工学教育部
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川堰 宣隆
富山大学 工学部
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稲垣 清紀
立山マシン(株)
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斉藤 潤二
立山マシン(株)
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芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリ研究グループ
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芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 マイクロ加工システムグループ
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矢野 宏
千葉大工
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高野 登
富山大学大学院理工学教育部
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舟田 義則
石川県工業試験場
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百田 佐多生
高知工科大
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百田 佐多生
高知工科大学工学部
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芦田 極
機械技術研究所
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柴田 隆行
豊橋技科大
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水村 峯夫
シグマ光機(株)
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平井 聖児
ものつくり大
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柴田 隆行
茨城大学工学部
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柴田 浩一
千葉大院
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森田 昇
千葉大学工学部機械工学科
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水村 峯夫
シグマ光機
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芦田 極
工業技術院 機械技術研究所
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高野 茂人
(株)不二越 機械工具事業部
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舟田 義則
Industrial Research Institute of Ishikawa
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森田 昇
株式会社不二越
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芦田 極
機械研
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森田 昇
千葉大学大学院工学研究科
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黒田 雅治
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス部門
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松本 純一
(独)産業技術総合研究所
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神田 一隆
(株)不二越
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高野 茂人
(株)不二越
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小幡 勤
富山県工業技術センター
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高野 茂人
不二越
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森田 昇
富山大学大学院理工学研究部工学領域
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前川 仁
機械技術研究所
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谷川 民生
機械技研
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前川 仁
機械技研
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田中 誠
機械技術研究所
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谷川 民生
機械技術研究所
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芦田 極
機技研
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谷川 民生
機技研
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前川 仁
機技研
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田中 誠
機技研
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柴田 隆行
茨城大学
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森田 昇
千葉大学
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吉田 嘉太郎
千葉大学
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川堰 宣隆
富山工技セ
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深瀬 達也
富山大院
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森田 昇
富山大学 工学部
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PARK Jeong
釜山大学ERC
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寥 国新
千葉大学大学院自然科学研究科
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廖 国新
千葉大院
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杉原 英之
千葉大学大学院
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岡 大輔
富山大学大学院
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郭 麗麗
千葉大学工学部
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吉田 嘉太郎
千葉大学工学部
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佐々木 源
千葉大学大学院
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岡崎 祐一
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリ研究グループ
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岡崎 祐一
(独)産業技術総合研究所
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山田 茂
富山大・工
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大山 達雄
富山大・工
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藪野 浩司
慶應義塾大
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黒田 雅治
産業技術総合研 先進製造プロセス部門
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林 圭一
筑波大学大学院システム情報工学研究科
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徐 盛林
中国武漢江漢大
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芦田 極
機械研究所
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平野 晋太郎
千葉大院
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松本 純一
(独)産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
-
林 圭一
小松製作所
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吉田 嘉太郎
千葉大学名誉教授
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柴田 隆行
茨城大
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大山 達雄
富山大
-
山田 茂
富山大
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黒田 雅治
(独)産業技術総合研究所
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森田 昇
富山大学大学院
著作論文
- マイクロファクトリと小型工作機械の概念設計
- 3517 小型工作機械の設計評価について
- 3805 機械加工マイクロファクトリの開発
- マイクロファクトリと工作機械の小型化設計
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 1022 球状単結晶の異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成(第2報)
- 308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
- 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成 : 微細構造形成の高能率化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 325 ダイヤモンドアレイ工具を応用した加工用AFMカンチレバーの開発(OS-16 微細加工と表面機能)
- シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報) : 任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第5報,マスク層の加工条件依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第4報,マスキング作用のメカニズム(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報) : マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用
- 512 トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 211 加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発(OS6 超精密加工)
- 209 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS6 超精密加工)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション : 微細構造の高精細化に関する検討
- フィンランド技術研究センター(VTT)
- マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究
- 614 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS11-3 加工計測・加工機械,オーガナイズドセッション:11 加工技術の高度化)
- 227 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS-6超精密加工)
- 集束イオンビームとアルカリエッチングを併用した極微細加工
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第10報):マスキング効果の解明
- ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 : 第2報 : 1立方インチサイズ超小型フライス盤の開発
- 「加工機械」と「機械加工」のマイクロ化技術
- 球状単結晶シリコンの異方法エッチングによるマイクロ形状創成 : 結晶方位の選択指針の提案
- 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(第3報) : 加工特性の分子動力学解析
- 411 マイクロプレス機による小型部品の順送り加工
- 3518 マイクロプレス機の開発
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第2報) : マイクロプレス機の試作
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト
- 機械加工マイクロファクトリ
- マイクロファクトリにおけるナノ・マイクロ加工要素開発のアプローチ(ナノ・マイクロテクノロジーの視点から見た材料加工技術の最前線)
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- まえがき : 四力学を活かしたものづくり(四力学を活かしたものづくり)
- マイクロプレス機の開発
- 310 ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(OS6 マイクロ加工(1))
- ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション
- 摩擦力顕微鏡機構による極微細加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコンへのマスクレスパターン形成
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響
- マイクロファクトリのための工作機械の設計評価に関する研究
- 817 摩擦力顕微鏡機構による単結晶シリコンへの3次元微細構造のマスクレス形成(マイクロ加工)(OS.1 生産加工・工作機械)
- 3509 摩擦力顕微鏡機構による極微細加工と異方性エッチングを併用したマスクレスパターン形成
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第7報) : マスキング作用の解明と極微細構造への応用
- 精密微細加工における現状と動向 (切削加工技術)
- 118 ポータブルマイクロ射出成形機の開発
- 機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦
- (14)ファンデルポール型自励発振を用いたAFMカンチレバーの振幅制御(論文,日本機械学会賞〔2010年度(平成22年度)審査経過報告〕)