マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2000-03-01

著者

• 田中 誠

  日本大学理工学部

• 芦田 極

  機械技研

• 田中 誠

  機械技研

• 森田 昇

  千葉大工

• 芦田 極

  (独)産業技術総合研究所

• 矢野 宏

  千葉大工

関連論文

• マイクロファクトリと小型工作機械の概念設計
• 機械加工デスクトップマイクロファクトリ
• 3517 小型工作機械の設計評価について
• 3805 機械加工マイクロファクトリの開発
• マイクロファクトリと工作機械の小型化設計
• 不凍化蛋白質を利用する氷のスラリー化と低温蓄熱への応用の研究
• 不凍化蛋白質を利用する氷スラリーの結晶構造のミクロな研究
• 微小接触時の摩擦現象に及ぼす雰囲気の影響
• 超音波振動を利用した水の過冷却解消能動制御
• 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
• 1022 球状単結晶の異方性エッチングによるマイクロ形状創成
• 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成(第2報)
• 308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
• 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成 : 微細構造形成の高能率化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 325 ダイヤモンドアレイ工具を応用した加工用AFMカンチレバーの開発(OS-16 微細加工と表面機能)
• シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報) : 任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第5報,マスク層の加工条件依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第4報,マスキング作用のメカニズム(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報) : マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用
• 512 トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS7 ナノ・マイクロ加工)
• 211 加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発(OS6 超精密加工)
• 209 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS6 超精密加工)
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション : 微細構造の高精細化に関する検討
• フィンランド技術研究センター(VTT)
• 再生器マトリックスがスターリングエンジン性能に与える影響
• マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究
• 614 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS11-3 加工計測・加工機械,オーガナイズドセッション:11 加工技術の高度化)
• 227 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS-6超精密加工)
• 集束イオンビームとアルカリエッチングを併用した極微細加工
• 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第10報):マスキング効果の解明
• ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 : 第2報 : 1立方インチサイズ超小型フライス盤の開発
• 「加工機械」と「機械加工」のマイクロ化技術
• 球状単結晶シリコンの異方法エッチングによるマイクロ形状創成 : 結晶方位の選択指針の提案
• NO_2光化学反応エンジンにおける圧力変化
• 特殊環境下での切削加工に関する研究
• 1020 小型高速主軸の開発とミニ NC フライス盤への応用
• 小型高速主軸の開発とミニNCフライス盤への応用
• 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(第3報) : 加工特性の分子動力学解析
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第6報) -加工変質層の同定-
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第5報) -ナノスケール切込みの切削における切れ刃摩耗-
• 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第5報) -定形工具の開発-
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第4報) -加工特性の分子動力解析-
• 切削加工に伴うエキソ電子放射挙動に関する研究
• プラズマCVD法によるアモルファスシリコン系皮膜状工具の製作と研磨加工への応用
• 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第4報) -BaCO_3砥粒による乾式研磨-
• シランカップリング剤を利用した氷スラリー生成機構のミクロ観察 (マイクロスケールの流体・熱流動現象)
• 411 マイクロプレス機による小型部品の順送り加工
• 3518 マイクロプレス機の開発
• マイクロファクトリ要素の開発研究(第2報) : マイクロプレス機の試作
• マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト
• 機械加工マイクロファクトリ
• マイクロフライス盤の設計と試作-目的と概要-
• 往復流れ場に置かれたスターリングエンジン用再生器材料の流動および伝熱特性
• D01 異なる気孔径を組み合わせた1ピストン型スターリンエンジン再生器(スターリング冷凍機及び関連要素と応用システム、再生熱交換器の基本特性)
• 1101 ピエゾ素子による発電(第 2 報) : ピエゾ素子のエネルギ変換効率
• マイクロファクトリにおけるナノ・マイクロ加工要素開発のアプローチ(ナノ・マイクロテクノロジーの視点から見た材料加工技術の最前線)
• 顕微レーザラマン分光測定における温度の影響
• 特殊環境下での切削加工に関する研究(第2報) -被削材および工具材種の影響-
• 鞭毛を模擬した小型ポンプ,小型粘度計 : 流体工学,流体機械
• 超小型工場-マイクロファクトリー
• 将来形エンジン
• 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第4報) -工具形状が切削抵抗および切削温度に及ぼす影響-
• 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第3報) -切削速度が切削抵抗及び切削温度に及ぼす影響-
• 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第2報) -工具ねじれ角が切削抵抗及び工具摩耗に及ぼす影響-
• D02 スコッチヨーク機構を用いたβ型スターリングエンジンの再生器特性(再生熱交換器の基本特性)
• OS11-8 1ピストン型スターリングエンジンに及ぼす再生器性能(OS11 廃熱利用技術,循環型社会における動力エネルギー技術)
• OS5-2 液体燃料電池の出力に及ぼすアルコール組成(OS5 水素・燃料電池,循環型社会における動力エネルギー技術)
• D04 1ピストン型スターリングエンジンの動作試験(再生熱交換器の基本特性)
• D03 小温度差α型スターリングエンジンの研究(再生熱交換器の基本特性)
• A06 低温度差水平対向型スターリングエンジンの研究(スターリングエンジン及び関連要素と応用システム(2))
• 再生器付ディスプレーサピストンを用いた小型スターリングエンジンの研究(再生熱交換器の基本特性(1))
• 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
• まえがき : 四力学を活かしたものづくり(四力学を活かしたものづくり)
• マイクロプレス機の開発
• 310 ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(OS6 マイクロ加工(1))
• ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション
• 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響
• 硬脆材料の高温切削に関する研究(第1報) -装置の試作と単結晶シリコンの切削-
• 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第2報)-石英ガラスへの適用ー
• 硬脆材料の高温切削に関する研究(第2報) -加工現象と加工面性状との関連-
• 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第7報) : マスキング作用の解明と極微細構造への応用
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第3報) -各種材料の加工特性-
• シミュレーションより予測されるAFMのトレーサビリティ
• (TiAI)N薄膜の機械的特性評価に関する研究
• マイクロマシンにおけるトライボロジーに関する研究
• 微小押込み・引っかき装置の試作と加工面評価への応用
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第2報) -面走査加工における切込み深さ増加のメカニズム-
• 電子顕微鏡による切削挙動の観察 -第2報, 切削機構の材料依存性-
• 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第1報) -FFM一体型加工評価装置の開発-
• 分子モデルを利用した加工面からの応力予測(II) -AFM観測像の予測-
• 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第1報) -切削抵抗の測定手法の検討-
• 分子モデルを利用した加工面からの応力予測
• AFMを用いた表面粗さ測定におけるトレーサビリティ
• 衝突モデルによる砥粒加工現象の分子動力学シミュレーション(第2報) -EAM(原子挿入法)の適用-
• 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第5報) : 工具ねじれ角が工具摩耗に及ぼす影響
• 水中の温度場を利用した移動体の研究
• 9-330 卒業研究前におけるゼロからのものつくり(口頭発表論文,(8)ものつくり教育-XIV)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク