(TiAI)N薄膜の機械的特性評価に関する研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
関連論文
- 微小接触時の摩擦現象に及ぼす雰囲気の影響
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 1022 球状単結晶の異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成(第2報)
- 308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第10報):マスキング効果の解明
- 特殊環境下での切削加工に関する研究
- 1020 小型高速主軸の開発とミニ NC フライス盤への応用
- 小型高速主軸の開発とミニNCフライス盤への応用
- (TiAl)N薄膜の高温スクラッチ試験
- ジルコニアセラミックスの高温切削
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第6報) -加工変質層の同定-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第5報) -ナノスケール切込みの切削における切れ刃摩耗-
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第5報) -定形工具の開発-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第4報) -加工特性の分子動力解析-
- 切削加工に伴うエキソ電子放射挙動に関する研究
- プラズマCVD法によるアモルファスシリコン系皮膜状工具の製作と研磨加工への応用
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第4報) -BaCO_3砥粒による乾式研磨-
- 3518 マイクロプレス機の開発
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第2報) : マイクロプレス機の試作
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト
- 顕微レーザラマン分光測定における温度の影響
- 特殊環境下での切削加工に関する研究(第2報) -被削材および工具材種の影響-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第4報) -工具形状が切削抵抗および切削温度に及ぼす影響-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第3報) -切削速度が切削抵抗及び切削温度に及ぼす影響-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第2報) -工具ねじれ角が切削抵抗及び工具摩耗に及ぼす影響-
- 高速切削加工技術の高度化に関する研究
- ELID研削加工面の評価
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響
- 硬脆材料の高温切削に関する研究(第1報) -装置の試作と単結晶シリコンの切削-
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第2報)-石英ガラスへの適用ー
- 硬脆材料の高温切削に関する研究(第2報) -加工現象と加工面性状との関連-
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第7報) : マスキング作用の解明と極微細構造への応用
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第3報) -各種材料の加工特性-
- シミュレーションより予測されるAFMのトレーサビリティ
- (TiAI)N薄膜の機械的特性評価に関する研究
- マイクロマシンにおけるトライボロジーに関する研究
- 微小押込み・引っかき装置の試作と加工面評価への応用
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第2報) -面走査加工における切込み深さ増加のメカニズム-
- 電子顕微鏡による切削挙動の観察 -第2報, 切削機構の材料依存性-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第1報) -FFM一体型加工評価装置の開発-
- 分子モデルを利用した加工面からの応力予測(II) -AFM観測像の予測-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第1報) -切削抵抗の測定手法の検討-
- 分子モデルを利用した加工面からの応力予測
- AFMを用いた表面粗さ測定におけるトレーサビリティ
- 衝突モデルによる砥粒加工現象の分子動力学シミュレーション(第2報) -EAM(原子挿入法)の適用-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第5報) : 工具ねじれ角が工具摩耗に及ぼす影響