308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper discribes the result of micro structure fablication in spherical single-crystal silicon by anisotropic etching. Etching experiment with spherical single-crystal silicon covered with mask pattern has shown that side surface angle and depth of groove were changed every 90°.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
鈴木 庸介
千葉大学大学院
-
森田 昇
千葉大工
-
平井 聖児
ものつくり大学
-
鈴木 庸介
千葉大院
-
平井 聖児
都立高専
-
芦田 極
産総研
-
森田 昇
富山大学大学院理工学研究部
-
芦田 極
(独)産業技術総合研究所
関連論文
- 503 ナノダイヤモンドコロイドの摩擦磨耗特性(G3:強度・衝撃,G3:強度・衝撃)
- 微小接触時の摩擦現象に及ぼす雰囲気の影響
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 1022 球状単結晶の異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成(第2報)
- 308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
- 505 振動を利用した鋳造中子のバリ取り(オーガナイズドセッション : 切削・研削加工2)
- 21507 ナノダイヤモンドコロイドよる研磨加工におけるトライボファブリケーションの研究(研削・研磨加工-2,OS.14 研削・研磨加工)
- 325 ダイヤモンドアレイ工具を応用した加工用AFMカンチレバーの開発(OS-16 微細加工と表面機能)
- 512 トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 211 加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発(OS6 超精密加工)
- 209 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS6 超精密加工)
- 2101 チタン合金の高速ミーリングにおける最適加工条件の検討(OS13 高速ミーリング,ツーリング,工具)
- 回転式卓上加工機TRIDER-Xによるミーリング加工実験
- A-19-5 車椅子用後方および高視点映像情報表示システムの開発(A-19.福祉情報工学,一般セッション)
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第10報):マスキング効果の解明
- 21213 高濃度マイクロバブル発生装置の開発 : 第1報,マイクロバブルの粒径分布(マイクロバブル・界面現象,一般講演,学術講演)
- 球状単結晶シリコンの異方法エッチングによるマイクロ形状創成 : 結晶方位の選択指針の提案
- OS0306 振動を利用した溶接残留応力の低減法 : 種々の振動に対する検討(OS3-2 型成形技術(材料力学))
- 20617 超音波振動を用いたブロック材の溶接残留応力の低減法(振動音響利用,一般講演)
- 振動を利用した溶接残留応力の低減法(種々の振動数による検討)
- 310 マイクロバブルオゾンを用いた屎尿処理水の脱色に関する実証試験(流体力学2,環境工学)
- 308 マイクロバブル粒径に与える流体物性変化の影響(流体力学2,環境工学)
- 1412 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減 : 加熱装置を用いた模擬溶接(GS4-1 生産加工・工作機械)
- 703 超音波振動加振を利用した溶接残留応力の低減 : 加熱装置による検討(振動・超音波I)
- G0501-1-6 マイクロバブルの粒径および消滅時間に流体物性が与える影響(キャビテーション,マイクロバブル)
- 特殊環境下での切削加工に関する研究
- 遠心力利用磁気研磨のための簡易傾斜軸装置の開発 (多目的磁気研磨ユニットの試作)
- 1020 小型高速主軸の開発とミニ NC フライス盤への応用
- 小型高速主軸の開発とミニNCフライス盤への応用
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第6報) -加工変質層の同定-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第5報) -ナノスケール切込みの切削における切れ刃摩耗-
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第5報) -定形工具の開発-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第4報) -加工特性の分子動力解析-
- 切削加工に伴うエキソ電子放射挙動に関する研究
- プラズマCVD法によるアモルファスシリコン系皮膜状工具の製作と研磨加工への応用
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第4報) -BaCO_3砥粒による乾式研磨-
- 3518 マイクロプレス機の開発
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第2報) : マイクロプレス機の試作
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト
- 1205 超音波振動を利用した積層材料の穴あけ加工表面形状の改善 : 切削時間による評価(GS-3,4 複合材料)
- 異方性エッチング液の選択指針とその応用法
- ピエゾ素子を利用した金型への虹面創成法
- 超音波振動援用マイクロインデンテーション加工 -第1報(虹面創成の試み)
- 顕微レーザラマン分光測定における温度の影響
- 特殊環境下での切削加工に関する研究(第2報) -被削材および工具材種の影響-
- 21720 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減に関する研究 : 溶接による検討(振動の積極的利用,一般講演,学術講演)
- 21721 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減 : 加熱装置による検討(振動の積極的利用,一般講演,学術講演)
- 207 振動を利用した溶接残留応力低減の解析法 : 超音波振動と低周波振動を用いた場合(GS1-2 材料・材料力学・計算力学(2),一般セッション:1 材料・材料力学・計算力学)
- 2つの超音波振動を用いた溶接残留応力の低減(強力超音波)
- 102 超音波振動を利用した金型補修溶接時の残留応力の低減 : 溶接および加熱による検討(機械材料・新素材I)
- 超音波振動による局部的な塑性変形を利用した溶接残留応力の低減法 : ホイールの溶接
- 20413 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減 : 加熱装置による検討(材料力学(1))
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第4報) -工具形状が切削抵抗および切削温度に及ぼす影響-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第3報) -切削速度が切削抵抗及び切削温度に及ぼす影響-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第2報) -工具ねじれ角が切削抵抗及び工具摩耗に及ぼす影響-
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- マイクロインデンテーションにより創成した金型虹面の解析 -その1 (円弧状ビットの場合)-
- マイクロ超音波振動子による研削加工の試み
- 20414 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減 : ブロック材の補修溶接への応用(材料力学(1))
- リアルタイム超音波振動で溶接残留応力を低減
- 超音波加工 超音波振動を利用して積層材料の穴あけ加工表面形状を改善する
- 501 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減 : 異なる周波数による加振(機械材料・材料加工)
- 超音波振動を利用した積層材料の穴あけ加工表面形状の改善(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 9006 超音波振動を利用した溶接残留応力低減の解析モデル(加振時間の影響)(GS-A2 一般セッション(製造関連解析技術))
- 205 超音波振動を利用した溶接残留応力低減の解析モデル : 2点加振の影響(材料力学II,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 323 超音波振動を利用した溶接残留応力低減の解析モデル : 超音波加振の影響の評価(生産加工I)
- 21001 超音波振動を利用した積層材料の穴あけにおける積層面の剥離防止法 : 高速穴あけに対する検討(生産・加工(1))
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響
- 硬脆材料の高温切削に関する研究(第1報) -装置の試作と単結晶シリコンの切削-
- 陽極火花放電法を利用した微細砥粒の固定化とその応用(第2報)-石英ガラスへの適用ー
- マイクロバブルの挙動と環境にやさしい洗浄技術
- 超音波振動を利用したホイール溶接時の残留応力低減法の開発 : 振動伝達装置の改良(材料の強度と力学的評価)
- 105 超音波振動を利用したホイール溶接時の残留応力低減法の開発(第 1 報, 振動伝達装置の開発)
- 219 振動荷重を利用した積層材料の穴あけ加工における積層面の剥離防止法(オーガナイズドセッション : O.S.2 音響・振動による診断技術II)
- 超音波振動を利用した溶接残留応力の低減法 : 機械要素,潤滑,工作,生産管理など
- 425 超音波振動を利用した積層材料の穴あけ加工(機械加工II)
- 205 超音波を利用した溶接残留応力低減の評価モデル(溶接部の塑性変形を考慮したモデル)
- 硬脆材料の高温切削に関する研究(第2報) -加工現象と加工面性状との関連-
- TECHNICAL REPORT 振動を利用した溶接残留応力の低減法
- 超音波振動付加による溶接残留応力の低減
- 溶接残留応力低減への超音波振動の利用
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第7報) : マスキング作用の解明と極微細構造への応用
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第3報) -各種材料の加工特性-
- シミュレーションより予測されるAFMのトレーサビリティ
- (TiAI)N薄膜の機械的特性評価に関する研究
- マイクロマシンにおけるトライボロジーに関する研究
- 微小押込み・引っかき装置の試作と加工面評価への応用
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第2報) -面走査加工における切込み深さ増加のメカニズム-
- 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発 : 加工用AFMカンチレバーの開発
- 電子顕微鏡による切削挙動の観察 -第2報, 切削機構の材料依存性-
- 摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第1報) -FFM一体型加工評価装置の開発-
- 分子モデルを利用した加工面からの応力予測(II) -AFM観測像の予測-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第1報) -切削抵抗の測定手法の検討-
- 分子モデルを利用した加工面からの応力予測
- AFMを用いた表面粗さ測定におけるトレーサビリティ
- 衝突モデルによる砥粒加工現象の分子動力学シミュレーション(第2報) -EAM(原子挿入法)の適用-
- 高速エンドミル加工の切削現象に関する研究(第5報) : 工具ねじれ角が工具摩耗に及ぼす影響
- TECHNICAL REPORT 環境にやさしい技術で世界をリード--機械部品洗浄などへの応用が期待される「マイクロバブル」
- コア技術の進化こそグローバル化戦略--JIMTOF 2006に見た大田区中小製造業の実力 (特集 日本発 金型加工最前線--JIMTOF2006に見る最新金型加工技術)