摩擦力顕微鏡機構を利用した極微細加工に関する研究(第2報) -面走査加工における切込み深さ増加のメカニズム-

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概要

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• 1998-03-05

著者

• 森田 昇

  千葉大工

• 吉田 嘉太郎

  千葉大学

• 吉田 嘉太郎

  千葉大工

• 芦田 極

  千葉大院

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