摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響

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概要

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• 2000-09-01

著者

• 芦田 極

  機械技研

• 森田 昇

  千葉大工

• 平井 聖児

  ものつくり大学

• 平井 聖児

  都立高専

• 芦田 極

  (独)産業技術総合研究所

• 陳 利益

  千葉大院

• 陳 利益

  千葉大学大学院

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