フィンランド技術研究センター(VTT)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-07-31
著者
-
松本 純一
(独)産業技術総合研究所
-
芦田 極
(独)産業技術総合研究所
-
芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリ研究グループ
-
芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 マイクロ加工システムグループ
-
松本 純一
(独)産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
関連論文
- 中空繊維状基材内微細セル状構造作成プロセス(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 中空繊維状基材内微細セル状構造作成プロセス (小特集 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- マイクロファクトリと小型工作機械の概念設計
- 3517 小型工作機械の設計評価について
- 3805 機械加工マイクロファクトリの開発
- マイクロファクトリと工作機械の小型化設計
- 気液の二相流れ数値シミュレーション (特集 トライボロジーにおける最新計算手法)
- 拡散界面モデルを用いた二相流体流れの数値解析 (数値解析における理論・手法・応用)
- 自由エネルギー理論に基づく拡散界面モデルを用いる微視的二相流の界面追跡計算法
- 非構造格子を用いた Phase-Field モデル自由表面問題における Cahn-Hilliard 方程式の計算法の検討
- 直交基底気泡関数有限要素法によるマイクロポンプ内の流れ解析
- Phase-Fieldモデルを用いた自由表面流れ有限要素解析
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 1022 球状単結晶の異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成(第2報)
- 308 ポール半導体におけるマイクロ形状創成 : アルカリ系水溶液による異方性エッチング(OS6 マイクロ加工(1))
- 10504 マイクロ流体デバイスのための拡散界面モデルを用いた二相流体挙動の数値シミュレーション(産学における混相研究(1),OS.13 産学における混相研究)
- D209 非構造格子を用いたマイクロポンプ内流れの有限要素解析(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- 気液の二相流れ数値シミュレーション
- 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成 : 微細構造形成の高能率化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 325 ダイヤモンドアレイ工具を応用した加工用AFMカンチレバーの開発(OS-16 微細加工と表面機能)
- シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報) : 任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第5報,マスク層の加工条件依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第4報,マスキング作用のメカニズム(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報) : マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用
- 512 トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 211 加工用ダイヤモンドAFMカンチレバーの開発(OS6 超精密加工)
- 209 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS6 超精密加工)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第1報,摩擦力顕微鏡機構を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション : 微細構造の高精細化に関する検討
- フィンランド技術研究センター(VTT)
- 1908 中間変数による圧力ベース流体構造連成解法の増分型定式化とシェル流体連成への適用(OS19.大規模連成解析と関連話題(2),ポスターセッションP-2)
- マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究
- 614 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS11-3 加工計測・加工機械,オーガナイズドセッション:11 加工技術の高度化)
- 227 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS-6超精密加工)
- 集束イオンビームとアルカリエッチングを併用した極微細加工
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第10報):マスキング効果の解明
- ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 : 第2報 : 1立方インチサイズ超小型フライス盤の開発
- 「加工機械」と「機械加工」のマイクロ化技術
- 球状単結晶シリコンの異方法エッチングによるマイクロ形状創成 : 結晶方位の選択指針の提案
- 非圧縮性粘性流体-剛体連成に対する中間変数を用いた圧力ベース解法の増分型定式化とその検証(流体工学,流体機械)
- USNCCM7(第7回米国計算力学会議)
- 原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発(第3報) : 加工特性の分子動力学解析
- 411 マイクロプレス機による小型部品の順送り加工
- 3518 マイクロプレス機の開発
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第2報) : マイクロプレス機の試作
- マイクロファクトリ要素の開発研究(第1報) : マイクロプレス機の開発コンセプト
- 機械加工マイクロファクトリ
- マイクロファクトリにおけるナノ・マイクロ加工要素開発のアプローチ(ナノ・マイクロテクノロジーの視点から見た材料加工技術の最前線)
- ミニチュア化生産システムの現状と将来
- M1-8 中空繊維状基材内微細セル状構造作成プロセス(M1 製作技術,材料)
- (18) 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究
- 球状単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロ形状創成
- まえがき : 四力学を活かしたものづくり(四力学を活かしたものづくり)
- マイクロプレス機の開発
- 310 ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(OS6 マイクロ加工(1))
- ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション
- 摩擦力顕微鏡機構による極微細加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコンへのマスクレスパターン形成
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響
- マイクロファクトリのための工作機械の設計評価に関する研究
- 817 摩擦力顕微鏡機構による単結晶シリコンへの3次元微細構造のマスクレス形成(マイクロ加工)(OS.1 生産加工・工作機械)
- 3509 摩擦力顕微鏡機構による極微細加工と異方性エッチングを併用したマスクレスパターン形成
- 摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第7報) : マスキング作用の解明と極微細構造への応用
- 精密微細加工における現状と動向 (切削加工技術)
- 118 ポータブルマイクロ射出成形機の開発
- 機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦
- (14)ファンデルポール型自励発振を用いたAFMカンチレバーの振幅制御(論文,日本機械学会賞〔2010年度(平成22年度)審査経過報告〕)
- 日韓ワークショップ