(18) 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-05-05
著者
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芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリ研究グループ
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芦田 極
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 マイクロ加工システムグループ
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芦田 極
独立行政法人産業技術総合研究所機械システム研究部門
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芦田 極
独立行政法人産業技術総合研究所
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