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芦田 極 | 機械研
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概要
同名の論文著者
機械研の論文著者
関連著者
森田 昇
千葉大
芦田 極
(独)産業技術総合研究所
陳 利益
千葉大院
陳 利益
千葉大学大学院
芦田 極
機械研
森田 昇
富山大学大学院理工学研究部
徐 盛林
中国武漢江漢大
著作論文
310 ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(OS6 マイクロ加工(1))
817 摩擦力顕微鏡機構による単結晶シリコンへの3次元微細構造のマスクレス形成(マイクロ加工)(OS.1 生産加工・工作機械)
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