ファセット成長による半導体形状制御の研究 (特集論文 ファセットレ-ザ)
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概要
著者
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小林 直樹
日本電信電話株式会社ntt物性科学基礎研究所
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西田 敏夫
Ntt物性基礎研究所
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小林 直樹
Ntt 物性科学基礎研
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小林 直樹
日本電信電話(株)ntt物性科学基礎研究所
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安藤 精後
NTT基礎研究所
-
安藤 精後
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
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