スプレー熱分解法によるFTO系透明導電膜の膜厚依存性
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概要
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Transparent conducting thin films of fluorine-doped SnO2 were deposited on glass substrates by spray pyrolysis technique in order to find out the effect of film thickness. These films were prepared using fluorine concentrations of 17 mol% at substrate temperature of 500℃. Their electrical resistivity decreased although optical transmittance decreased with increasing the film thickness.
- 宮崎大学の論文
- 2010-09-30
著者
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