製膜速度による微結晶シリコン薄膜の圧電素子光熱分光スペクトル変化
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概要
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The piezoelectric photo-thermal (PPT) signals from hydrogenated microcrystalline silicon(μc-Si:H) films were measured and the effects of the deposition rate on the optical propertieswere investigated. Increasing the deposition rate resulted in a decrease in optical absorptioncoefficient and a shift in effective energy gap to the higher photon energy side. These resultsled to a reduction in the photovoltaic conversion efficiency of the solar cells forhigh-deposition-rate samples. The usefulness of thin and transparent μc-Si:H films was alsodemonstrated.
- 宮崎大学の論文
著者
-
碇 哲雄
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
福山 敦彦
宮崎大工
-
碇 哲雄
宮崎大工
-
福山 敦彦
宮崎大学工学部材料物理工学科
-
王 萍
宮崎大学工学研究科物質工学専攻
-
多田 真樹
宮崎大学工学研究科物質工学専攻
-
大田 将志
宮崎大学工学研究科電気電子工学専攻
-
境 健太郎
宮崎大学フロンティア科学実験センター
-
境 健太郎
宮崎大産学連携センター
-
Sakai K
宮崎大
-
碇 哲雄
宮崎大学工学部
-
福山 敦彦
宮崎大学工学部
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