8a-S-12 圧電素子-光音響分光法(P-PAS)を用いた, シリコンの熱処理に伴うサーマルドナー形成の評価
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-09-16
著者
-
吉野 賢二
宮崎大学工学部
-
碇 哲雄
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
横山 宏有
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
前田 幸治
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
福山 敦彦
宮崎大工
-
福山 敦彦
宮崎大学工学部材料物理工学科
-
原山 誠
宮崎大学工学部
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