4219 デスクトップマイクロ組立機械の高精度化設計(J24-1 生産機械のマイクロ化(1))
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概要
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We are developing micro assembly machines that assemble MEMS components or optical parts with 1μm positioning accuracy. We report the basic design considerations of our micro assembly machine, and also shows some of the trials to the further step toward the better positioning accuracy.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
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