Preparation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Thin Film by Chemical Vapor Deposition : Electrical Properties of Condensed Matter

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概要

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• Y-Ba-Cu-O film was prepared by chemical vapor deposition using tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)yttrium(III) (Y(DPM)_3), bis(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedionato)barium(II) (Ba(HFA)_2) and bis(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedionato)copper(II) (Cu(HFA)_2). Superconducting transition was observed with T_c(onset)=83 K and T_c(R=0)=65 K for these CVD films after an annealing process. Typical films of Y-Ba-Cu-O on a (001) SrTiO_3 substrate exhibited the presence of YBa_2Cu_3O_y according to X-ray diffraction patterns.

• 社団法人応用物理学会の論文
• 1988-09-20

著者

• Munakata F

  Scientific Research Laboratory Nissan Motor Co. Ltd.

• Yamanaka M

  Electron Devices Division Electrotechnical Laboratory

• MUNAKATA Fumio

  Materials Research Laboratory, Central Engineering Laboratories, Nissan Motor Co., Ltd.

• SHINOHARA Kazuhiko

  Materials Research Laboratory, Central Engineering Laboratories, Nissan Motor Co., Ltd.

• YAMANAKA Mitsugu

  Materials Research Laboratory, Central Engineering Laboratories, Nissan Motor Co., Ltd.

• Shinohara K

  National Institute Of Info. & Com. Tech.

• Shinohara Kazuhiko

  Materials Research Laboratory Nissan Research Center Nissan Motor Co. Ltd.

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