Alフリー0.98μm帯InGaAs/InGaP/GaAs面発光型レーザの室温連続動作
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概要
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二次元集積化が可能な面発光型レーザは、光インタコネクト用光源として期待されている。特にInGaAsを活性層とする0.98μm帯面発光型レーザは、歪量子井戸構造の採用によりしきい値電流を大幅に低減できるため研究が活発である。しかし、従来の0.98μm帯面発光型レーザは、化学的に活性なAIを含有するAlGaAs系材料で構成されているため、酸化による素子の信頼性の劣化が懸念される。これに対し我々は、Alを含有しないInGaP/GaAs多層膜反射鏡を作製し、面発光型レーザへの適用性を実証した。今回、高信頼性動作が期待できるInGaAsP系材料を用いて面発光型レーザを作製し、室温連続動作を得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
佐川 みすず
(株)日立製作所中央研究所
-
平本 清久
日立製作所中央研究所
-
篠田 和典
(株)日立製作所中央研究所
-
平本 清久
(株)日立製作所中央研究所
-
魚見 和久
(株)日立製作所中央研究所
-
平本 清久
日本オプネクスト(株)
-
篠田 和典
(株)日立製作所 中央研究所
-
魚見 和久
日本オプネクスト株式会社
-
魚見 和久
(株)日立製作所
-
魚見 和久
(株)日立製作所 中央研究所
-
佐川 みすず
日立 中研
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