レンズ集積技術を用いた1.3μm帯面型レーザおよびフォトダイオードの高効率ファイバ結合(半導体レーザ関連技術,及び一般)
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概要
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次世代光通信に求められる実装簡易性に優れた光素子の開発を目的として、光素子へのレンズ集積技術を検討した。集積レンズはInP基板をエッチングすることで作製した。作製したレンズの3次元形状を解析した結果、レーザビームのコリメートに理想的な非球面形状が得られていることを確認した。この技術を用いてレンズを集積した1.3μm波長帯の水平共振器面型レーザを試作した結果、円形狭窄ビーム(3.9°x3.5°)を得ることに成功し、シングルモードファイバとの高効率(-2.7dB)な直接光結合を確認した。また、レンズ集積フォトダイオードを試作した結果、受光感度の増大と光結合トレランスの拡大を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-12-04
著者
-
菅原 俊樹
(株)日立製作所中央研究所
-
李 英根
(株)日立製作所中央研究所
-
辻 伸二
(株)日立製作所中央研究所
-
塩田 貴支
(株)日立製作所 中央研究所
-
田中 滋久
(株)日立製作所中央研究所
-
篠田 和典
(株)日立製作所中央研究所
-
篠田 和典
日立中央研究所
-
青木 雅博
(株)日立製作所中央研究所
-
李 英根
技術研究組合光電子融合基盤技術研究所
-
菅原 俊樹
(株)日立製作所 中央研究所
-
菅原 俊樹
(株)日立製作所中央研究所:(財)光産業技術振興協会
-
青木 雅博
(株)日立製作所 中央研究所
-
篠田 和典
(株)日立製作所 中央研究所
-
辻 伸二
(株)日立製作所 中央研究所
-
足立 光一朗
(株)日立製作所 中央研究所
-
田中 滋久
(株)日立製作所 中央研究所
-
辻 伸二
技術研究組合光電子融合基盤技術研
-
田中 慈久
日立製作所中央研究所
-
足立 光一郎
(株)日立製作所中央研究所:(財)光産業技術振興協会
-
李 英根
光電子融合基盤技術研究所:日立製作所
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