表面実装向け高効率・低暗電流導波路型PINフォトダイオード

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概要

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• 光モジュールの低コスト化へ向けて、表面実装技術に関する研究が盛んである。受光素子においても、光導波路基板等との整合性に優れた導波路型PIN-PDが注目されている。今回我々はフラットエンドSMF(スポットサイズ5μm)及びDSF(スポットサイズ4μm)に対して高効率でかつ低暗電流な導波路型PIN-PDを開発したので報告する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1996-03-11

著者

• 宍倉 正人

  (株)日立製作所中央研究所

• 松岡 康信

  (株)日立製作所中央研究所

• 中村 均

  (株)日立製作所中央研究所

• 辻 伸二

  (株)日立製作所中央研究所

• 小野 綱男

  (株)日立デバイスエンジニアリング

• 田中 滋久

  (株)日立製作所中央研究所

• 宮崎 隆雄

  (株)日立製作所中央研究所

• 宍倉 正人

  日本オプネクスト株式会社

• 宍倉 正人

  日本オプネクスト(株)

• 辻 伸二

  (株)日立製作所 中央研究所

• 田中 滋久

  (株)日立製作所 中央研究所

• 松岡 康信

  (株)日立製作所 中央研究所

• 宍倉 正人

  (株)日立製作所 中央研究所

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