ポリマ光導波路を用いた光送受信モジュール
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概要
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ポリマ光導波路を用いたアクセス系向け低コスト光送受信モジュールを開発した。酸化膜付シリコン基板上に設けたフッ素化ポリイミド導波路は、酸化膜とポリイミドの大きな屈折率差のために下部クラッド層を薄くしても損失が増加しない。従って、特別な高さ調整構造を設けなくても導波路と半導体光素子のコア高さを一致することができる。また、MMI(multi-mode interference)型非対称Y分岐を検討し、同Y分岐が低損失で十分な動作波長範囲を持つことを示した。試作したモジュールの光出力は>2mW(@60mA)、受光感度は>0.39A/Wであり、良好な基本特性を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-26
著者
-
佐野 博久
日立金属株式会社先端エレクトロニクス研究所
-
辻 伸二
日立製作所株式会社
-
木下 平
(株)日立製作所 中央研究所
-
井戸 立身
(株)日立製作所中央研究所
-
辻 伸二
(株)日立製作所中央研究所
-
徳田 正秀
(株)日立製作所中央研究所
-
井戸 立身
日立製作所 中央研究所
-
佐野 博久
日立製作所 中央研究所
-
長良 高光
(株)日立超LSIシステムズ
-
辻 伸二
(株)日立製作所 中央研究所
-
桑原 明
(株)日立製作所通信事業部
-
桑原 明
日立製作所通信システム事業本部
-
長良 高光
日立超LSIシステムズ
-
市川 博一
日立製作所中央研究所
-
徳田 正秀
日立製作所中央研究所
-
木下 平
日立製作所中央研究所
-
長良 高光
(株)日立超lsi システムズ
-
市川 博一
(株)日立製作所 中央研究所
-
辻 伸二
技術研究組合光電子融合基盤技術研
-
辻 伸二
日立製作所中央研究所
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