表面実装向けInGaAlAs導波路型PIN-PDの高効率・高信頼化
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概要
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光モジュールの低コスト化へ向けて、光導波路基板を用いた表面実装技術が検討されている。受光素子としては光導波路基板との整合性から導波路型PDが注目され、高効率化や低コスト化が報告されている。今回我々は第2コア層膜厚の最適化と信頼度の初期検討をしたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
宍倉 正人
(株)日立製作所中央研究所
-
松岡 康信
(株)日立製作所中央研究所
-
中村 均
(株)日立製作所中央研究所
-
辻 伸二
(株)日立製作所中央研究所
-
小野 綱男
(株)日立デバイスエンジニアリング
-
田中 滋久
(株)日立製作所中央研究所
-
宮崎 隆雄
(株)日立製作所中央研究所
-
宍倉 正人
日本オプネクスト株式会社
-
宍倉 正人
日本オプネクスト(株)
-
辻 伸二
(株)日立製作所 中央研究所
-
田中 滋久
(株)日立製作所 中央研究所
-
田中 滋久
日立中研
-
松岡 康信
(株)日立製作所 中央研究所
-
田中 慈久
日立製作所中央研究所
-
宍倉 正人
(株)日立製作所 中央研究所
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