C-6-7 CVD 法による ZnO の成長への p-Si 基板表面処理の影響

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-09-10

著者

• 佐藤 知正

  神奈川大学工学部

• 平手 孝士

  神奈川大学工学部

• 佐藤 知正

  神奈川大学 工学部 電気工学科

• 栗 偉哲

  神奈川大学工学部

• 佐藤 和正

  神奈川大学 工学部

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