熱CVD法によるZnS(Mn)膜の下地依存性
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概要
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EL(Electroluminescence)蛍光体の開発を目的として、熱CVD法によりカーボンビーズ、カーボンプレート、Si基板表面にZnS(Mn)膜を析出させることを試みた。特に下地依存性について検討したので以下に報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
佐藤 知正
神奈川大学工学部
-
平手 孝士
神奈川大学工学部
-
佐藤 知正
神奈川大学 工学部 電気工学科
-
伊藤 雅之
神奈川大学 工学部
-
曽根 忠
神奈川大学 工学部
-
平田 徹
神奈川大学 工学部
-
榊原 努
神奈川大学 工学部
-
榊原 努
神奈川大学工学部
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