C-6-3 減圧熱CVD法によるZnO薄膜の作製とそのルネッセンス特性

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-03-07

著者

• 佐藤 知正

  神奈川大学工学部

• 平手 孝士

  神奈川大学工学部

• 佐藤 知正

  神奈川大学 工学部 電気工学科

• 佐藤 和正

  神奈川大学 工学部

• 御嶽 清人

  神奈川大学工学部

• 武井 伸政

  神奈川大学工学部

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