C-6-7 減圧熱CVD-ZnO成長におけるレーザアブレーション不純物の影響(C-6.電子部品・材料)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-03-08
著者
-
佐藤 知正
神奈川大学工学部
-
平手 孝士
神奈川大学工学部
-
佐々木 紳也
神奈川大学工学部
-
佐藤 知正
神奈川大学 工学部 電気工学科
-
宮下 裕史
神奈川大学 工学部
-
金原 孝志
神奈川大学 工学部
-
栗 偉哲
神奈川大学工学部
-
佐藤 和正
神奈川大学 工学部
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