RFスパッタリング法による ZnS/Si 構造の熱処理効果
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概要
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筆者等は、ZnS (RF Sputtered). /p-Si 構造に生じる特異な電気的特性について報告している。この構造の電気的特性への熱処理の効果について検討したので、以下に報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-13
著者
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