イオンビームスパッタZnS薄膜における酸素ドーピング
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概要
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薄膜EL素子の発光層であるZnS薄膜を、アルゴンに酸素を混合したイオンビームスパッタ法により、ターゲット不純物(SmF_3)濃度を変化(1wt%, 3wt%, 5wt%)させて作製し、その組成や結晶構造などについて検討した結果、以下のことがわかった。酸素分圧の増加と共に膜中に含まれる酸素の割合が増加し、ターゲット不純物濃度が高いほど、膜中に酸素が取り込まれやすいこと。酸素を混合することにより格子定数が縮む方向にずれ、ターゲット不純物濃度が高いほどより縮む方向にずれること。酸素を混合すると発光輝度が向上すること。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-01-18
著者
-
佐藤 知正
神奈川大学工学部
-
石川 武史
神奈川大
-
平手 孝士
神奈川大学工学部
-
佐藤 知正
神奈川大学 工学部 電気工学科
-
脇坂 信治
神奈川大
-
相上 信之
神奈川大
-
脇坂 信治
神奈川大学工学部電気工学科
-
相上 信之
神奈川大学工学部電気工学科
-
石川 武史
神奈川大学工学部電気工学科
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