ポーラスシリコンの酸化による構造安定化とその物性
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概要
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ECRプラズマ酸化した多孔質シリコン(PS)のからの低温領域(室温〜5.6K)におけるフォトルミネッセンス(PL)について評価を行ったところ、低温ではPLピークがブルーシフトし、ピークに肩が見られた。測定されたPLスペクトルのピーク分離を試みた結果、観測されたPLは特定のエネルギー位置にピークを持つ数個の発光に分離されることがわかり、PLスペクトルのブルーシフト等の変化は各分離ピークの相対強度の変化により説明できることを示した。また、PL発光寿命についても評価を行い、発光起源の特性が陽極酸化したPSと類似性があることを示した。これらの結果は励起されたキャリアが複数の発生準位を遷移しながら再結合する発光機構モデルで説明される。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
-
伊藤 利道
大阪大 大学院工学研究科
-
平木 昭夫
大阪大学工学研究科フロンティア研究センター
-
古田 啓介
大阪大学工学部電気工学科
-
八田 章光
大阪大学工学部電気工学科
-
伊藤 利道
大阪大学工学部電気工学科
-
新垣 修
大阪大学工学部電気工学科
-
米田 敏之
大阪大学工学部電気工学科
-
山本 拓郎
大阪大学工学部電気工学科
-
平木 昭夫
高知工科大学電子・光システム工学科
-
八田 章光
大阪大学工学部
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