Si基板中へのAu+およびCu+の高濃度イオン注入によるSi-Au,-Cu合金の直接生成

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概要

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著者

• 平木 昭夫

  大阪大学工学研究科フロンティア研究センター

• 難波 進

  大阪大学基礎工学部

• 蒲生 健次

  大阪大学基礎工学部

• 平木 昭夫

  大阪大学工学部

• 岩見 基弘

  大阪大学工学部

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