7a-T-7 Au^+およびCu^+イオンのSi基板中へのHigh-dose Implantation

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1977-03-20

著者

• 岩見 基弘

  阪大工

• 蒲生 健次

  阪大基礎工

• 平木 昭夫

  阪大工

• 難波 進

  阪大基礎工

• 難波 進

  大阪大学基礎工学部

• 首藤 和夫

  阪大工

• 三枝 隆男

  東海大教養

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