31p-J-5 Si清浄表面上での金属薄膜(シリサイド薄膜)形成過程と低温界面反応

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1981-03-30

著者

• 岩見 基弘

  阪大工

• 奥野 和彦

  阪大工

• 平木 昭夫

  阪大工

• 片岡 佳英

  阪大工

• 伊藤 利道

  阪大工

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