4a-A-18 QMAによるグラファイト反応性スパッタにおけるプラズマ測定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-09-10

著者

• 平木 昭夫

  阪大工

• 宮里 達郎

  阪大産研

• 川上 養一

  阪大工

• 徳村 正夫

  阪大産研

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