29a-D-5 Kr, Neなど希ガス中でのスパッターによるa-Siの製作

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1980-03-12

著者

• 平木 昭夫

  阪大工

• 井村 健

  阪大工

• 久保田 和芳

  阪大工

• 牛田 克己

  阪大工

• 福島 祥人

  阪大工

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