29a-D-3 水素又は重水素の高線量イオン注入法によるa-Si: H(D)の製作
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1980-03-12
著者
-
佐藤 守
大阪工業技術試験所
-
平木 昭夫
阪大工
-
佐藤 守
大工試
-
Stockli M.p
カンザス州立大
-
井村 健
阪大工
-
久保田 和芳
阪大工
-
茂木 和久
阪大工
-
薮田 明
阪大工
-
佐藤 守
大阪工技試
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