4p-B-13 非晶質 Si-H 膜のイオン後方散乱による characterization II
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1979-09-15
著者
-
箕村 茂
東大物性研
-
浜川 圭弘
阪大基礎工
-
岩見 基弘
阪大工
-
藤本 文範
東大教養
-
箕村 茂
北大理
-
佐藤 守
大阪工業技術試験所
-
平木 昭夫
阪大工
-
浜川 圭弘
立命館大学大学院
-
佐藤 守
大工試
-
Stockli M.p
カンザス州立大
-
田中 一宣
電総研
-
井村 健
阪大工
-
久保田 和芳
阪大工
-
佐藤 守
大阪工技試
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