31p GE-7 非晶質シリコン水素合金スパッタ膜の物性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1979-03-15

著者

• 辻 和彦

  東大物性研

• 箕村 茂

  東大物性研

• 大柳 宏之

  電総研

• 箕村 茂

  北大理

• 大柳 宏之

  東大物性研

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