12a-R-10 Si(基板)-Au(膜)系での低温反応により生じる合金層のAuger 電子分光による観測

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1972-10-10

著者

• 平木 昭夫

  阪大工

• 成沢 忠

  日本真空

• 成沢 忠

  日本眞空技術(株)

• 小宮 宗治

  日本眞空技術(株)

• 小宮 宗治

  日本真空技術(株)

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