1p-B-10 Heガス中でのスパッタによるa-Siの製作

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1980-09-10

著者

• 平木 昭夫

  阪大工

• 井村 健

  阪大工

• 茂木 和久

  阪大工

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