茂木 和久 | 阪大工

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概要

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著作論文

• 2a-W-22 水素ガスでのスパッタによる水素化結晶Siの構造・物性
• 29a-D-3 水素又は重水素の高線量イオン注入法によるa-Si: H(D)の製作
• 1p-B-10 Heガス中でのスパッタによるa-Siの製作

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