31p GE-10 イオンビーム誘起オージェ電子分光によるa-Si膜中のHの三次元分布

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1979-03-15

著者

• 岡本 博明

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 岩見 基弘

  阪大工

• 平木 昭夫

  阪大工

• 片岡 佳英

  阪大工

• 金 守哲

  阪大工

• 浜川 圭弘

  立命館大学大学院

• 岡本 博明

  阪大基礎工

• 井村 健

  阪大工

• 牛田 克己

  阪大工

• 岡本 博明

  基礎工

• 浜川 圭弘

  基礎工

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