3p-BJ-13 グロー放電法 a-Si の基礎特性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1978-03-10

著者

• 岡本 博明

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 浜川 圭弘

  阪大基礎工

• 安達 敏男

  阪大基礎工

• 岡本 博明

  阪大基礎工

• 新田 佳照

  阪大基礎工

• 安達 敏男

  基礎工

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