30a-RB-6 高濃度にイオン注入したSi:Sb薄膜および細線の電気伝導

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1986-09-12

著者

• 邑瀬 和生

  阪大理

• 石田 修一

  阪大理

• 蒲生 健次

  阪大基礎工

• 石橋 幸治

  阪大基礎工

• 難波 進

  長崎総合科学大

• 難波 進

  阪大基礎工

• 川合 浩史

  阪大基礎工

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