超微細加工と電子波デバイス

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 1989-09-15

著者

• 難波 進

  阪大基礎工

• 難波 進

  大阪大学基礎工学部

• 蒲生 健次

  大阪大学基礎工学部

• 高垣 雪彦

  パウル・ドルーデ固体電子研

• 高垣 雪彦

  阪大基礎工:阪大理

• 高垣 雪彦

  大阪大学基礎工学部

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