ガスパフを用いた有磁場マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド成膜とラジカルの時間変化
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概要
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- 1997-11-18
著者
-
佐々木 孝友
大阪大学
-
伊藤 利道
大阪大 大学院工学研究科
-
八田 章光
大阪大学工学部電気工学科
-
伊藤 利道
大阪大学工学部電気工学科
-
八田 章光
大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
全 炯敏
大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
今川 和之
大阪大学
-
伊藤 利道
大阪大学
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