有磁場マイクロ波プラズマ気相合成装置内に付着した炭素薄膜の酸素プラズマによるエッチング
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概要
著者
-
伊藤 利道
大阪大 大学院工学研究科
-
八田 章光
高知工科大学電子・光システム工学科
-
伊藤 利道
大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
全 炯敏
大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
八田 章光
高知工科大
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